CAMTEK 自动光学检验AOI设备 三维集成电路
CAMTEK 自动光学检验AOI设备 三维集成电路
Camtek灵活平台利用各种技术解决的复杂步骤3 dic发展和生产的需要。
我们自动化的2 d和3 d测量和缺陷检测能力覆盖较**的产业需求解决产业路线图。
该系统包括数据分析工具使过程监控和产量的提高。
功能
?高容量整片肿块2 d和3 d检查和计量
?层厚度测量
?调整层之间
?覆盖测量
?高分辨率CD测量
?表面相关缺陷检查
?TSV CD测量
?通过了检验
?通过揭示/指甲高度和co-planarity测量
?RDL检验和计量
技术
?Camtek*特的白光三角测量传感器
?**的缺陷检测和计量处理引擎
?高分辨率三维共焦传感器
?光干涉测量技术对3 d
产品
Eagle-AP
Eagle-AP提供2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持*高的性能和吞吐量水平。
EagleT-AP