UP-230 不锈钢腔体式薄膜制备装置
更新时间：2022-07-01
信息编号：1650332
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联系方式UP-230 不锈钢腔体式薄膜制备装置
适合的应用： ◆ 化学气相沉积法制备**单晶金刚石（基台直径5厘米）; ◆ 化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜。 产品特点： ◆ 本产品为不锈钢腔体式5kw微波等离子体设备，功率密度高； ◆ 水冷式基片台和水冷式金属反映腔，保证系统能长时间稳定工作； ◆ 基片温度以微波等离子体自加热方式达到； ◆ 真空测量仪表采用全量程真空计，可**测量本底真空和工作气体压强； ◆ 真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1x10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为6x10-2Pa)，装置可调节高真空隔膜阀和并联高真空微调阀控制沉积气压； ◆ 配备冷却水循环系统，无水源要求，确保装置高功率下可长时间安全稳定运行； ◆ PLC自动控制和手动操作两种操作模式，工艺流程可重复；
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