特价**PECVD管式炉 1200度PECVD管式炉
更新时间：2022-07-01
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开启式真空管式炉技术参数 石英管尺寸 L1200mm Φ（60、80、100） 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 测温元件 K型热电偶 加热区长度 440mm 恒温区长度 200mm 工作温度 ≤1100℃ 控温模式 智能控温、可编程30段 控温精度 ±1℃ 升温速率 ≤20℃/min 电功率 AC220V/50HZ/3KW 质量供气系统技术参数 混气管尺寸 Φ80×120mm 量程 100sccm\200sccm\500sccm 数显压力表测量范围 -0.1Mpa～0.15Mpa 极限压力 3MPa 针阀 316不锈钢 截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 电功率 AC220V/50HZ/20W 真空系统技术参数 连接方式 KF25/40 抽速 4L/S 极限真空度（标准腔体） 0.1Pa 测量范围(电阻规) 100000Pa～0.1Pa 基本配置： 1、炉体 1套（含石英管） 2、控制柜 3组（数显真空计、气路控制） 3、真空系统 1、真空件 a) 双*旋片泵机械泵4L/S 1台 b) KF25高真空挡板阀： 1只 c) 真空波纹管： 1只 d) 数显真空计(成都国光)： 1套 e) 真空管路： 1套 f) KF卡箍 4只 1. 气路控制系统： a) 进气阀： 1套 b) 4路质量混气系统（CH4H2 Ar N2标准） 1套 c) 排气阀： 1套 d) 充气管路： 1套
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